《迈向原子及近原子尺度制造》
人类见证了自1760年代以来在使用精密工具和制造方法上前所未有的发展，精度在不断地增加，从毫米到微米、到1纳米再到原子的水平。制造模式也从石器时代、青铜时代和铁器时代的以手工为基础的制造发展到使用自动化机械的精确控制的制造。在过去的30年里，从扫描式隧道显微镜发明以来，人类已经能够操纵单个原子，这为即将到来的原子及近原子尺度制造（ACSM）时代奠定了基础。近原子尺度制造包括将原材料、组件或零部件转换成符合用户规格的产品的所有必要步骤。ACSM中涉及的过程不仅在原子上精确，而且还在原子和近原子的尺度上删除、添加或转换工作材料。
这篇综述讨论了ACSM的发展历史和目前实现原子精确和/或原子规模制造的最先进的工艺，介绍了ACSM在量子计算、分子电路、生命和材料科学等领域的应用现状和未来。为了ACSM的进一步发展，理解原子尺度和原子精密制造的潜在机制，为ACSM开发功能设备、材料和工艺以及促进高通量制造至关重要。
第一作者：房丰洲，爱尔兰都柏林大学微纳制造中心（MNMT-Dublin），天津大学微纳制造实验室(MNMT)
联合作者：张楠，郭东明，Kornel Ehmann，张志辉，Kui Liu，Kazuya Yamamura
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